走进冬日里的山西转型综合改革示范区潇河新兴产业园,记者看到,山西华芯半导体晶体材料产业基地二期项目已建设完成,三座现代化厂房在这里拔地而起。此项目总投资达5.52亿元,是我省全力推进的第三代半导体产业链强链工程的重要一环。
“蓝宝石晶体作为现代工业的重要基础材料,主要用于半导体晶圆衬底,广泛应用于LED显示芯片,尤其在MiniLED和MicroLED等高端显示产品中表现突出。”华芯半导体晶体材料产业基地负责人介绍。
第三代半导体产业链是省级重点产业链之一,我省高度重视半导体及集成电路产业发展。近年来,省委、省政府对产业转型项目的划分更加清晰明确。其中,2023年涉及半导体产业的项目有9项,2024年有12项,主要集中在上游碳化硅材料制备项目和中下游的LED显示、封装等项目。《山西省“十四五”14个战略性新兴产业规划》提出,第三代半导体产业链要“逐步完善材料—设备—芯片设计、制造、封测—应用全产业链条,打造国内领先的半导体材料产业基地,构建全国专用芯片和器件产业集聚区”。
发展第三代半导体产业链,我省铆足了干劲。经过几年的努力,半导体产业正处于蓬勃发展时期,对外吸引了诸多半导体项目落地,对内也培养了不少本土企业,在衬底材料、关键装备、LED等产业链环节具备了一定产业特色优势。
全自动化固晶机上,微米级的针头不断上下“敲打”,将一枚枚芯片取下并固定在基板上,如同正在走线的缝纫机,速度之快肉眼难辨。满负荷产能运转下,一卷卷LED灯珠卷盘组装成一块块LED显示屏。这是记者在长治市经开区内高科华烨电子集团华兴五车间看到的一幕充满科技感的画面。
而在距离该车间不远处,投资60亿元的高科视像MLED COB新型显示制造项目车间内,生产线上闪烁着信号灯的全自动化设备和大小屏幕上闪动跳跃的数据,预示着代表LED半导体产业未来发展和技术尖端的生产线箭已上弦。“这代表着在当下LED行业,我公司率先把LED显示屏灯珠最小间距从0.7mm突破到0.6mm,成功实现产品中试,让COB封装实现规模化量产。”该集团负责人自豪地说。
去年6月,国内半导体龙头企业上海硅产业集团股份有限公司发布公告称,拟投资建设集成电路用300mm硅片产能升级项目,预计总投资约132亿元。据了解,该投资项目分为太原项目及上海项目两部分实施,其中太原项目预计总投资约91亿元。
太原能够在该项目中独占鳌头,背后是我省各项政策展现出的诚意与优势。在拟定项目协议阶段,为减轻项目方前期资金成本压力,我省精准匹配标准化厂房建设支持政策;随后又发挥省市县三级合力,积极争取国家政策支持,助力项目实现开工。
除了招商引资,我省也同样重视对本土企业的培养。
经过几年发展,全省涌现出一批具有较强竞争力的半导体企业。其中,中国电子科技集团公司第二研究所、山西烁科晶体有限公司(以下简称“烁科晶体”)和山西高科华杰光电科技有限公司还被列为第三代半导体产业链“链主”企业。同时,我省打造了不少半导体明星项目,如长治南烨MLED新型显示面板项目、中北高新区半导体硅材料产业基地项目、中国电科(山西)碳化硅材料产业基地二期项目、晋城经开区星心半导体封装项目、山西华芯半导体晶体材料产业基地等。
以烁科晶体为例,成立仅几年,已发展成为国内从事第三代半导体材料碳化硅生产和研发的领军企业。2022年,烁科晶体成功研制出8英寸碳化硅单晶衬底,实现了国内首家8英寸N型碳化硅抛光片小批量生产。
以蓄力转型的高度和攀登科研高峰的速度,带动产业链发展的厚度,我省第三代半导体产业链汇聚“芯”动能,正在奋力“蝶变”、向“新”高飞。
本报记者王蕾